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衬底温度对激光脉冲沉积氧化锌薄膜结构及发光性能的影响

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摘要

在单晶硅衬底上用激光脉冲沉积方法制备了氧化锌薄膜,研究了衬底温度对薄膜结构、形貌和发光性能的影响.

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来源
《吉林师范大学学报（自然科学版）》 |2008年第4期|44-46|共3页
作者
李少兰;
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作者单位

鲁东大学,学报编辑部,山东,烟台,264025;

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正文语种 chi
中图分类 O472.3;
关键词
脉冲激光沉积; 氧化锌薄膜; 光致发光;

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