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陈浩;
上海交通大学 上海 200030;
化学气相沉积; 托盘; 旋转; 共振;
机译:使用乙炔在电子回旋共振化学气相沉积放电反应器中沉积的氢化非晶碳膜
机译:碳源对电子回旋共振等离子体化学气相沉积反应器中碳氮化硅膜生长的影响
机译:电子回旋共振等离子体化学气相沉积反应器中H-2的添加对SiCN膜生长的影响
机译:使用热丝反应器使用共振增强的多相电离(REMPI)用于探测金刚石化学气相沉积中的氢原子
机译:中空纤维生物反应器中的细胞生长和流体流动分布的表征使用磁共振微成像和磁共振波谱。
机译:在冷壁反应器中通过化学气相沉积制造石墨烯封装的铜颗粒
机译:校正:通过序列化学气相沉积在石英上通过顺序化学气相沉积改善了单壁碳纳米管的对齐阵列的提高密度
机译:升级Bernex 2000化学气相沉积反应器
机译:反应器,化学气相沉积反应器和金属有机化学气相沉积反应器
机译:反应器,化学气相沉积反应器和有机金属化学气相沉积反应器
机译:化学气相沉积反应器和方法(化学气相沉积反应器和方法)
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