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彭补之;
感应加热; 化学气相沉积; 反应器; 扁平型感应加热圈;
机译:使用动力学蒙特卡洛模型和微波等离子体和热丝化学气相沉积反应器的二维模型模拟化学气相沉积金刚石膜的生长
机译:使用感应耦合等离子体反应器通过等离子体增强化学气相沉积法合成的碳纳米纤维表面上形成环
机译:低频感应耦合等离子体反应器中类金刚石碳膜的等离子体增强化学气相沉积的E和H态
机译:电弧加热化学气相沉积反应器超音速内部流动的数值模拟
机译:在热线化学气相沉积反应器中研究烷基硅烷分子的气相化学。
机译:射频等离子体增强化学气相沉积(RF PECVD)反应器中样品高度对氮化硅薄膜光学性能和沉积速率的影响
机译:化学气相沉积金刚石薄膜的电子束感应电流和远程电子束感应电流评估
机译:旋转盘式化学气相沉积反应器中流体力学和气相化学的理论模型
机译:包括其的感应加热器,化学气相沉积设备和控制包括感应加热器的化学气相沉积设备的温度分布的方法
机译:化学气相沉积的支持者,能够防止因不均匀加热而生长半导体的物质,一种化学气相沉积设备,以及一种使用化学气相沉积设备的加热方法
机译:反应器,化学气相沉积反应器和金属有机化学气相沉积反应器
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