加速器具有广阔应用前景

摘要

笔者参加了1998年11月4～7日在美国德州Denton市的北德州大学举行的第15届加速器在研究和工业中的应用国际会议,并在离子注入分会上作了题为"强流金属离子注入合成导电性金属硅化物"的邀请报告。众所周知,1985年美国学者,加州大学的Prof.I.Brown发明了金属蒸汽真空弧离子源(简称MEVVA源)。它能提供几乎所有的金属离子,