离子束金属材料的改性

摘要

cqvip:1995年9月4—8日在西班牙圣塞瓦斯提安召开的第9届离子束金属材料改性国际会议,有来自32个国家的199人与会。会上发表论文199篇,内容涉及到离子注入、离子束增强薄膜淀积、离子束混合和注入的工业应用等方面。这次会议有几个显著的特点:直接注入仍是当前研究的主流,气体离子注入向金属离子注入方面发展;克服注入浅层问题,注入硬膜(硬Cc镀层,TiN,TiC膜等)被认为是新的研究方向;MEVVA金属离子注入、等离子体离子注入和高功率脉冲离子注入等新技术发展迅速;离子束增强薄膜淀积呈强劲发展势头;离子束混合技术仍受重视。会议的重点是下述几个专题。