公开/公告号CN104726836B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-01-09
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海硅酸盐研究所;
申请/专利号CN201310713807.5
申请日2013-12-20
分类号C23C14/48(20060101);C23C14/16(20060101);
代理机构31229 上海唯源专利代理有限公司;
代理人刘秋兰
地址 200050 上海市长宁区定西路1295号
入库时间 2022-08-23 10:06:17
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-01-09
授权
授权
2015-07-22
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/48 申请日:20131220
实质审查的生效
2015-06-24
公开
公开
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