量热式质量流量计及其在氟化氢流量测量中的应用

摘要

介绍了一种量热式质量流量计的原理，并较详细地说明了用于氟化氢质量流量测量流量计的结构、测试与应用。该流量计可用于其它气体质量流量的测量。