基于CCD非接触线径测量系统的设计与研究

摘要

针对光学线径检测,文中提出了一种基于几何模型的非接触线阵CCD测量线径方法,搭建了CCD实时在线非接触式线径测量系统,并详细阐述了如何通过拟合补偿实现线径测量精度的提高,编程实现了稳定的μm级尺寸几何量测量.实验结果证明,改进后的模型及算法补偿后运用到该光学检测系统中,能克服人工检测所具有的缺点,并能实现非接触在线检测线径,且精度较高,具有很高的推广应用价值.