LIBS检测用高分辨光纤光谱仪的研制

摘要

文中介绍一种自行研制的可应用于LIBS(laser induced breakdown spectrum激光诱导击穿光谱)检测用的高分辨光纤光谱仪.系统电路部分采用cortex-M3芯片作为主处理器,通过USB2.0接口将光谱数据传送至上位机,编写了一套光谱仪测试软件.光路部分采用C-T(Czemy-Turner)成像系统,16μm狭缝、1 800 g rv/mm平面衍射光栅及2048像元的线阵CCD,实现了335～455nm范围内高分辨光谱输出.经精确定标与测试,仪器的波长准确度优于0.05 nm,闪耀波长处的波长分辨率可达0.1 nm,可以用于一般的LIBS检测研究.