一种金属桥冲击片雷管集成制造方法

施志贵; 郭菲; 席仕伟; 张茜梅; 王亚军

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一种金属桥冲击片雷管集成制造方法

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重点阐述了使用MEMS工艺将冲击片雷管的金属桥、反射片、飞片和加速膛集成为一体的制造方法.该方法较之2005年报道的硅集成冲击片雷管制造方法有两方面改进:一是采用金属桥替代多晶硅桥,从而使雷管作用时间缩短到2ms以内;二是使用硅-氧化硅-硅结构(SOI)材料代替单晶硅,从而使硅飞片厚度误差控制在±3mm以内.试验结果表明改进后的金属桥冲击片雷管在3.14kA电流下能够起爆HNS-IV炸药.

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来源
《火工品》 |2010年第3期|1-3|共3页
作者
施志贵; 郭菲; 席仕伟; 张茜梅; 王亚军;
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作者单位

中国工程物理研究院电子工程研究所,四川,绵阳,621900;

中国工程物理研究院化工材料研究所,四川,绵阳,621900;

中国工程物理研究院电子工程研究所,四川,绵阳,621900;

中国工程物理研究院电子工程研究所,四川,绵阳,621900;

中国工程物理研究院电子工程研究所,四川,绵阳,621900;

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正文语种 chi
中图分类 TJ45+.2;
关键词
冲击片雷管; MEMS; 集成; 金属桥; SOI;

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