一种聚合物平板微器件的集成制造方法

摘要

本文以一种平板微器件-微流控芯片制造为研究对象,针对单独的成形工艺难以同时保证器件的宏微尺度误差的难题,提出了新颖的聚合物平板微器件的集成制造方法.首先,设计并制造了一套注塑模具,其中采用双螺纹结构将微镶件和定模架相连,对注塑工艺参数进行优化,制得填充率接近1的平板微器件.然后对平板微器件进行以基于视觉对准的铣削整形、热压整平工序.最后,对器件进行装配和综合测试.实验结果表明:采用本文方法制造的器件,各项精度指标和性能可以满足实际使用要求,工艺成果对同类器件的研发生产提供了借鉴和指导.