中科院光电所研制成功URE-2000/17型台式紫外深层光刻机

摘要

据中科院光电所网站报道，该研究所为适应市场需求，以市场为驱动，用具有国际先进水准的技术和质量标准，成功地研发出一种URE2000／17型台式紫外光刻机。