超高速光电开关：扫描隧道显微镜超微细加工技术的新发展

摘要

将光信号转换成电信号的光接收元件有许多种类,例如pin二极管、电子雪崩光电二极管(APD)等。利用由光照射而引起半导体导电率变化的光电开关是目前最高速的光接收元件。使光电开关高速化的方法有:利用半导体的低温单晶生长等方法减小载流子寿命;缩短光激励载流子的移动速度。