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扫描隧道显微镜纳米加工技术的研究

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扫描隧道显微镜纳米加工技术的研究扫描隧道显微镜ＳＴＭ（ＳｃａｎｎｉｎｇＴｕｎｎｅｌｉｎｇＭｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）不但具有时物质表面原子结构的三维成象能力，而且通过控制ＳＴＭ针尖发射电子、离子及针尖与基底的机械接触等还可以在纳米尺度内改变物质特定区域的徽...

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来源
《东南大学学报：自然科学版》|1994年第5期|141-142|共2页
作者
闵光伟; 陆祖宏;
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作者单位

不详;

不详;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类电子光学仪器;
关键词
STM; 纳米加工技术;

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