旭硝子、超薄板ガラスの微細穴開け高速加工技術を開発

摘要

旭硝子は3月5日、厚さ0．1mmの超薄板ガラスの微細穴開け加工技術を開発したと発表した。放電による絶縁破壊を利用することで可能とし、処理速度も数mm／秒と高速で加工できる。半導体の貫通電極などのための微細な穴を、精密かつ高速に加工できるという。