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马天军; 孙建海; 郝保良; 李飞; 伊福廷; 刘濮鲲;
中国科学院电子学研究所,北京100190;
中国科学院高能物理研究所,北京100049;
北京大学应用电子学研究所,北京100875;
微加工; 折叠波导; UV-LIGA; .行波管;
机译:采用UV-LIGA微加工工艺的100 GHz波导带通滤波器
机译:使用SU-8光致抗蚀剂的220 GHz平板光束放大器光栅的UV-LIGA微加工
机译:基于SU-8 UV-LIGA技术的新型140 GHz折叠波导的设计,制造和测量
机译:用于220 GHz应用的微加工折叠波导慢波结构的设计与分析
机译:EFAB:一种新颖的,高纵横比的真正三维微加工工艺,用于快速,低成本的MEMS台式微加工。
机译:使用微加工钨涂层玻璃硅通孔结构的毫米波基片集成波导
机译:0.3 THz双波纹波导的UV-LIGA微加工
机译:采用sU-8光刻胶的220-GHz片状光束放大器光栅的UV-LIGa微加工
机译:光学波导和由此产生的光学波导的直接激光微加工工艺
机译:用于制造具有未完全重叠的相邻层的多层金属结构的UV-LIGA工艺,并获得了该结构
机译:用于制造多层金属结构的UV-LIGA工艺,其中相邻层没有完全重叠,并且可以使用该结构
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