20GHz行波光波导探测器

摘要

本发明公开一种20GHz行波光波导探测器，应用于光电技术领域，为解决现有的波导型探测器存在的：光电流沿波导方向分布不均匀，耦合损耗较大，入射光功率受限制的问题；本发明首先依据超模匹配理论合理设计光波导结构改变光电流沿指数分布，使光电流尽可能分布在比较长的波导范围内，光电流均匀的同时也保证了高量子效率；然后提出了光波导和微波波导在同一结构中实现的方法，将波导特征阻抗设计成与负载阻抗相匹配，使传输线实现行波传输，从而克服RC时间常数对于带宽的限制；探测器的特征阻抗被设计成50Ω与后端共面波导结构和外部同轴电缆匹配。