一种制备功能薄膜的新型装置的设计

摘要

首先概括了功能薄膜的特性、制备方法及其应用领域.然后,介绍了微空心阴极放电的基本结构及应用.最后,利用微空心阴极放电设计了一种新型制备功能薄膜的装置,对该装置的设计过程、工作原理和特点进行了详细的论述.