EPMA测试过程Na+含量变化及测试条件选择研究

摘要

在电子探针(EPMA)测试过程中,通过对电子束轰击玻璃测试条件的改变,发现电子束轰击会造成玻璃表面Na+含量发生变化.通过研究加速电压、束流大小、束斑直径和采集时间等测试条件对Na+离子含量变化的影响规律,得到含Na+玻璃样品的EPMA较佳的测试条件,从而对含Na+玻璃样品EPMA定量分析测试条件的选择起到指导意义.