基于微机电系统的数字检波器研制和性能分析

摘要

对微机电系统(MEMS)数字检波器的结构和性能进行了简要介绍,对MEMS数字检波器的室内检测系统的组成、标定和测量方法等方面进行了描述.在江苏油田进行了MEMS数字检波器野外试验,以测试MEMS传感器的性能.试验结果表明,用MEMS数字检波器采集的资料,浅层的信噪比、分辨率和波组特征比传统检波器的要好,深层能量较弱;在室内进行了三分量MEMS数字检波器和超级检波器的对比试验,结果表明,数字检波器的频率响应要优于超级检波器,阻尼低于超级检波器;在四川达州进行的三分量MEMS数字检波器野外试验表明,三分量MEMS数字检波器的灵敏度较低,不能分辨深层弱信号;在山东煤田的试验中,三分量MEMS数字检波器的灵敏度提高了3倍,记录的总体面貌没有很大改观,但检波器对小于10 Hz的面波信号有响应.