台大研制出新型电子束光阻材料

摘要

据媒体报道，台湾大学科研人员最近开发出一种新颖的电子束光阻材料，他们利用简单的高分子混掺技术，使其具有“光致发光”的主动性功能，进而可以在上面简易地制作出可发光的纳米结构。