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岛津PEC-A2样品表面处理装置真空系统故障维修

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PEC-A2样品表面处理装置是岛津公司为EPM-8l0Q电子探针样品表面进行喷金处理装置,其主要包括抽真空系统和喷金电流控制系统,抽真空系统由机械泵和油扩散组成,真空度可达到6.7×103Pa torr.

著录项

来源
《福建分析测试》 |2001年第3期|1490-1492|共3页
作者
吴杰;
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作者单位

福建省测试技术研究所,福建,福州,350003;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类金属学与热处理;
关键词
真空规;

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