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张卫; 王季陶;
复旦大学电子工程系;
金刚石; 相图; 甲烷; 二氧化碳; 化学气相淀积;
机译:直流电弧等离子体喷射化学汽相淀积法制备高质量金刚石薄膜
机译:气相化学模拟法构建金刚石化学气相沉积C-H-N相图
机译:使用热丝化学气相沉积和Ar / CH_4 / H_2气体混合物沉积超纳米晶金刚石膜的实验和建模:超纳米晶金刚石生长的一般机制
机译:超大规模集成电路互连金属化的化学气相淀积层与化学沉积方法的比较
机译:大气压微波等离子体辅助金刚石化学气相沉积中气相的化学动力学计算。
机译:碳氢化合物的紫外激光光解以抑制金刚石膜化学气相沉积中的非金刚石碳
机译:微波测量CH_4 / H_2 / N_2等离子体增强化学气相沉积过程中氮掺杂金刚石薄膜的椭偏研究
机译:金刚石化学气相沉积中的输运,气相和表面化学模型
机译:低温多晶硅薄膜的元件及其在低温下直接淀积的多晶硅薄膜的方法及其感应耦合等离子体化学气相淀积设备
机译:用于电化学汽相淀积的原始材料汽化器,电化学汽相淀积装置和使用该装置的固态电解膜形成方法
机译:等离子体化学汽相淀积装置及采用该装置的化学汽相淀积方法及装置内部的清洗方法
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