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射频CO2激光陶瓷基板划片机

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介绍了RFCO2激光器及其陶瓷基板划片的特点;分析了RFCO2激光陶瓷基板划片的机理,给出了整机总体设计方案.对导光系统的激光束进行了模拟,给出了导光系统的光路图及聚焦镜焦平面处的光斑尺寸及能量分布图,整机性能指标达到国外进口机的水平.

著录项

来源
《佛山陶瓷》 |2003年第10期|31-34|共4页
作者
侯廉平; 陈陪峰; 陈清明;
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作者单位

华中科技大学激光工程研究院,武汉,430074;

武汉金石凯激光技术有限公司,430074;

华中科技大学激光工程研究院,武汉,430074;

武汉金石凯激光技术有限公司,430074;

华中科技大学激光工程研究院,武汉,430074;

武汉金石凯激光技术有限公司,430074;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类陶瓷工业;
关键词
陶瓷基板,激光划片,RF CO2激光器;

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