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SinghB; 民川;
不详;
磁多极; 蚀刻反应器; 三极管;
机译:低压等离子体反应器多极磁系统中电子加热ECR机理的利用
机译:通过基于束流等离子体放电的等离子体化学反应器中的天然石墨单晶蚀刻来生产石墨烯
机译:基于光束等离子体放电,在等离子体化学反应器中蚀刻天然石墨单晶的石墨烯的制备
机译:在静态磁控硅三极管反应离子蚀刻中使用反应器铝氯化铝形成的Al-Cu合金蚀刻
机译:在感应耦合等离子体反应器中研究碳氟化合物沉积和蚀刻对硅和二氧化硅蚀刻工艺的影响(使用三氟化甲基),并开发了用于研究等离子体与表面相互作用机理的反应离子束系统。
机译:利用磁等离子体纳米腔中的多极暗等离子体激元杂交增强光极化的磁调制。
机译:等离子体蚀刻反应器的反馈控制用于改善蚀刻均匀性
机译:使用具有多极限制的电子回旋共振微波等离子体源的多晶硅蚀刻。
机译:用于等离子体蚀刻和沉积IC的磁控等离子体反应器-充满受到RF和磁场作用的可电离气体
机译:等离子蚀刻反应器组件,等离子蚀刻反应器和用于处理半导体衬底的方法
机译:等离子反应器,用于根据预定蚀刻条件选择性地改变感应线圈的组合结构,以及使用该等离子反应器的蚀刻方法
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