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张振信; 夏立芳;
不详;
等离子体; 离子注入;
机译:等离子体氮化和等离子体源离子注入技术制备的AlN的性能
机译:由于离子注入技术工艺的小型化,Cmos Lsi中的离子注入技术变得更加困难。
机译:使用固态微波发生器的2.45-GHz微波等离子体源。碰撞型等离子体源
机译:材料工程表面等离子体源离子注入技术
机译:氮化铝镓/氮化镓系统的硅离子注入技术的发展。
机译:离子注入技术在钛表面形成银纳米颗粒的研究
机译:等离子体源离子注入技术用于材料表面改性
机译:研究和技术转让特种材料的离子注入技术:联合研讨会的会议记录于1989年10月26日至27日在田纳西州诺克斯维尔举行。
机译:螺旋波等离子体源,用于这种等离子体源的天线以及使用这种等离子体源进行等离子体清洁或中和空间表面的方法
机译:用于产生非热等离子体的电极阵列,操作等离子体源和等离子体源的方法
机译:如何检测等离子体源和等离子体源的状态
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