LiNbO3电光调制器制作技术

摘要

光调制器是光通信的关键器件之一。国内外已对LiNbO3电光调制器开展了基础理论、结构设计、工艺制作和性能测试等方面的研究。介绍了LiNbO3电光调制器的关键制作技术与工艺。