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LiNbO3电光调制器的优化设计与制作

         

摘要

铌酸锂晶体有良好的光声和电光性质,因而基于铌酸锂的集成光学器件已引起人们广泛关注.利用LiNbO3作为介质材料,设计M-Z干涉型强度调制器.选用低损耗的质子交换光工艺技术制备光波导.对质子交换铌酸锂光波导的制作工艺、波导特性及其应用进行了研究.对电极结构进行了优化设计.

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