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低介电常数材料; 表面处理方法; 处理程序; 介电层; 半导体;
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机译:低介电常数材料的各向异性和铜/低k互连的可靠性。
机译:用于评估低介电常数材料介电特性的超灵敏微波传感器
机译:含有表面官能化的BN颗粒的氰酸酯复合材料,其具有嫁接的高电极胺,具有所需的热导流性和低介电常数
机译:二氧化硅气凝胶:本质上低介电常数材料
机译:处理低介电常数碳掺杂的氧化硅介电材料的暴露表面以保护材料不受损坏的方法
机译:低介电常数材料及CVD处理方法
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