200kev多功能离子注入机的研制

摘要

离子掺杂技术和“离子束——材料相互作用”机制的研究是材料科学与核物理与核技术相结合而发展起来的新兴领域。它研究小型低能加速器产生的荷能离子(几十kev——几Mev)作用于材料所引起的微观结构变化。