氢氦离子注入机的研制

摘要

介绍正在研制的氢氦离子注入机的结构和各部分的主要性能指标。rn 它的最高能量200keV,可以按一定比例同时用氢氦两种离子进行注入实验。该机经过调试,各项主要指标已达到设计要求,工作稳定可靠。