KLA—TENCOR针对科学与太阳能测量需求推出新型P-6表面轮廓仪系统

摘要

KLA—Tencor公司日前发布其最新的探针式表面轮廓测量系统P-6^TM，该系统针对科学研究与生产环境（例如，光电太阳能电池制造）提供一组独特的先进功能组合。P-6系统受益于在先进半导体轮廓仪系统上开发的测量技术，但却采用了较小与较经济的桌面型机台设计，可接受最大至150mm的样本。