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钱可强; 吴杰; 王冬蕊; 姜理利; 黄旼;
南京电子器件研究所;
南京210016;
微波毫米波单片集成电路与模块国家级重点实验室;
微机电系统; 层叠器件; 划片; 圆片级堆叠;
机译:生产大型位移聚合物MEMS,通过热压花和抛光加工粘合和层叠的可移动结构
机译:太阳能上升气流发电设施超高层叠层结构及海上施工方法研究综述
机译:PolyMUMPs MEMS器件,用于测量水性介质中单细胞的机械刚度PolyMUMPs MEMS器件,用于测量水性介质中单细胞的机械刚度
机译:了解纳米级器件硅悬空键结构中的电荷动力学
机译:优化制造工艺,以消除细间距(0.4mm)层叠封装器件上的枕形枕(HiP)缺陷。
机译:通过结构优化的惯性MEMS器件的快速原型设计
机译:用于mEms器件的无切割sOI工艺
机译:功率mEms结构和器件用pECVD厚氧化膜的残余应力和断裂
机译:具有改进的止动器结构制造方法的MEMS MEMS器件,所述相同的MEMS封装和包括所述MEMS器件的计算系统
机译:密封MEMS器件及制造密封MEMS器件的方法及MEMS器件的封装结构
机译:具有改进的限位器结构的MEMS器件,其制造方法以及包括MEMS器件的MEMS封装和计算系统
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