MEMS器件缩减模型建模方法研究

卢凉; 杜平安; 秦东兴; 阎威

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论述了微机电系统(MEMS)器件缩减模型的建立是进行MEMS系统级模拟的关键.论证了基于线性正交振型建立MEMS器件缩减模型是一种有效的方法,导出了MEMS器件动态缩减模型的微分方程,即根据能量守恒定律,用广义坐标表示系统的各个能量域,用线性正交振型的叠加对微分方程进行解耦,建立起一组表征器件动态特性的常微分方程,就可以利用现有的系统级仿真软件和电路一起进行系统级模拟.

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来源
《电子科技大学学报》 |2006年第5期|841-843|共3页
作者
卢凉; 杜平安; 秦东兴; 阎威;
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作者单位

电子科技大学机械电子工程学院,成都,610054;

电子科技大学机械电子工程学院,成都,610054;

电子科技大学机械电子工程学院,成都,610054;

中国工程物理研究院,四川,绵阳,621900;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类理论;机械振动学;
关键词
微机电系统; 振型; 缩减模型; 器件;

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