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傅剑宇; 陈大鹏; 焦斌斌; 欧毅; 景玉鹏; 董立军; 叶甜春;
中科院微电子研究所硅器件与集成技术研究室,北京,100029;
原子力显微镜; 悬臂梁; 微尖端;
机译：基于原子力显微镜的微悬臂梁尖端的自适应轨迹控制
机译：动态原子力显微镜中微悬臂梁多模尖端运动的实时重建
机译：微悬臂梁的自激振荡特性及自检测实现自动驾驶原子力显微镜微悬臂梁的研究
机译：用于力控制原子力显微镜的聚合物微悬臂梁2-悬臂梁的制造
机译：原子力显微镜中用于细胞成像和表征的微悬臂梁的建模和边界力控制。
机译：在基于原子力显微镜尖端的纳米铣削工艺中制备聚二甲基硅氧烷纳米流体芯片
机译：通过原子力显微镜尖端诱导局部氧化制备非晶硅纳米带用于薄膜器件应用
机译：微壳尖端光纤作为高压冲击探测器的最新进展
机译：无需初始表征悬臂梁尖端几何的利用原子力显微镜测量纳米尺度力学性能的方法
机译：原子力显微镜的微悬臂梁结构及其制造方法
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