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原子力显微镜梯度微悬臂梁的振动分析

摘要

在本文中,原子力显微镜的微悬臂梁的前两种模态的谐振频率和敏感度是基于修改后的偶应力理论和欧拉梁理论研究,且微悬臂梁由功能梯度材料构成.通过Hamilton原理,推导出高阶控制方程和边界条件.根据解析求解,讨论了样品表面接触刚度,长度尺度参数和梯度指数对悬臂微梁的弯曲振动特性的影响.

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