首页> 中文期刊> 《电子工业专用设备》 >多晶硅锭定向凝固过程的数值模拟

多晶硅锭定向凝固过程的数值模拟

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

研究了多晶硅锭定向凝固过程中晶体和熔体中的温度分布、固液界面的温度场,并对定向凝固过程进行了数值模拟,对热场对多晶硅晶体生长的影响进行了系统的理论分析和试验验证.

著录项

来源
《电子工业专用设备》 |2009年第6期|40-43,46|共5页
作者
陈国红; 王滋渊; 肖益波; 瞿海斌;
展开▼
作者单位

中国电子科技集团公司第四十八研究所,湖南,长沙,410111;

中国电子科技集团公司第四十八研究所,湖南,长沙,410111;

中国电子科技集团公司第四十八研究所,湖南,长沙,410111;

中国电子科技集团公司第四十八研究所,湖南,长沙,410111;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类半导体器件制造工艺及设备;
关键词
多晶硅锭; 定向凝固过程; 热场; 数值模拟;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 多晶硅锭定向凝固过程的温度场模拟 [J] . 蔡莉莉 ,冯翠菊 ,王会彬 . 材料科学与工程学报 . 2015,第001期
2. 多晶硅锭凝固过程的影响因素分析及数值模拟 [J] . 刘秋娣 ,林安中 . 有色金属工程 . 2003,第001期
3. 多晶硅定向凝固过程节能优化的数值模拟研究 [J] . 张明宇 ,罗涛 ,杨玺 . 云南科技管理 . 2018,第001期
4. 多晶硅片表面缺陷的研究与定向凝固多晶硅锭热场模拟 [J] . 陆晓东 ,张鹏 ,吴元庆 . 电子元件与材料 . 2016,第007期
5. 多晶硅定向凝固过程中热应力的建模研究 [J] . 朱徐立 . 厦门城市职业学院学报 . 2019,第001期
6. 基于ANSYS多晶硅锭凝固过程数值模拟 [C] . 李进 ,祖银芳 . 第三届（2009）国际太阳能光伏大会 . 2009
7. 太阳能级多晶硅定向凝固过程的数值模拟 [A] . 祖银芳 . 2009

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号