多晶硅锭凝固过程的影响因素分析及数值模拟

摘要

采用数值模拟方法研究几何参数及热量变化对多晶硅锭凝固过程固 -液界面形状和温度梯度的影响。分析表明 ,随固化量的增加 ,温度梯度先快速下降之后趋于常量。在冷源半径保持相对较小值的条件下 ,界面曲率出现最大值。冷源半径如果相对较大 ,界面曲率一直呈上升趋势。增大石墨托底的厚度和坩埚的厚度使界面曲率下降。倘若增大石墨托侧壁的厚度则界面曲率增大。因此采用底部较厚的石墨托有利于获得较小的界面曲率。