基于ANSYS多晶硅锭凝固过程数值模拟

摘要

由于多晶硅制备工艺试验难度大、周期长、费用高，有风险，数值模拟是一种廉价有效的方法，它对多晶硅生产技术起到了越来越重要的指导作用。本文运用有限元软件模拟了多晶硅锭凝固过程。通过建模、网格剖分、求解计算，得到了热导率和焓随时间变化图，凝固过程的温度云图。所得结果与实验结论基本相符。