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区熔硅单晶掺杂技术概述

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区熔硅单晶是制作电力电子器件的主要原材料,高质量的电力电子器件的发展对区熔硅单晶的高完整性、高纯度、高均匀性及大直径化提出了较高的要求.随着电力电子器件快速发展,市场需求急剧增加,为了深入的研究并应用掺杂技术,对几种掺杂工艺进行了分析和探讨.

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来源
《电子工业专用设备》 |2011年第5期|52-54|共3页
作者
庞炳远;
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作者单位

中国电子科技集团公司第四十六研究所,天津300220;

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正文语种 chi
中图分类 TN304.05;
关键词
区熔; 硅单晶; 掺杂;

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