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非接触式预对准系统及控制技术研究

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摘要

高精度高效率的预对准系统是现代集成电路(IC)生产中实现晶圆自动传输的重要部件.介绍了预对准台的大致设计结构,分析了目前常见的找心算法以及存在的问题,进而提出新的找圆心算法.之后针对带切边晶圆片的切边方向定位算法进行了分析归纳,总结出完整的切边定位算法.

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来源
《电子工业专用设备》 |2014年第2期|18-22,32|共6页
作者
刘玄博; 孙广翔;
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作者单位

中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京100176;

中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京100176;

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正文语种 chi
中图分类制造工艺及设备;
关键词
预对准; 圆心校正; 切边校正;

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