基于高精度预对准的硅片传输控制系统

摘要

高精度的预对准是设计现代光刻机硅片传输系统需要解决的核心问题之一.首先介绍了预对准单元的设计及实现:预对准机构包括旋转台、对心台和升降台,采用线阵CCD作为传感器进行硅片边缘检测,采用圆拟合方法进行硅片圆心和缺口的定位,对预对准方法的有效性进行了试验验证.然后,给出了硅片传输系统的构成和控制流程,并对系统定位另一个关键部分计算硅片偏心的-重定位环节进行了简要介绍.最后,给出了输片重复精度的试验结果.试验结果表明,在此预对准单元基础上实现的硅片传输系统可以有效提高输片精度.