MoS2-Ti/Cu-Ni-In多层膜的制备及其高温抗微动磨损性能

摘要

为了改善钛合金表面的高温抗微动磨损性能,采用非平衡磁控溅射技术在TC4钛合金表面沉积了总厚度约为6μm的MoS2-Ti/Cu-Ni-In多层固体润滑膜,并与单层MoS2-Ti与Cu-Ni-In膜进行对比.利用扫描电镜、压痕仪、X射线衍射仪、维氏显微硬度计、微动摩擦磨损试验机和三维表面轮廓仪对固体润滑薄膜的形貌、结合强度、物相、显微硬度、350°C下的微动磨损行为和磨痕形貌进行分析.结果表明,所制备的MoS2-Ti/Cu-Ni-In多层膜交替结构清晰,致密,在12000个微动循环周期后的摩擦因数稳定在0.266左右,最终磨损总量为0.357 mm3,都比2种单层膜小,具有良好的高温抗微动磨损性能.