调制比对Cu/Ni多层膜微动磨损和微动疲劳抗力的影响

摘要

在Ti811 钛合金表面利用离子辅助磁控溅射沉积技术制备了不同调制比例（3:1 、1:1 、1:3 ）的Cu/Ni 金属多层膜（调制周期均为200nm ），测试了膜基结合强度、膜层显微硬度和韧性，对比研究了不同调制比例的Cu/Ni 多层膜对钛合金常温下微动磨损性能和微动疲劳抗力的影响。结果表明：利用离子辅助磁控溅射技术可以获得致密度高、晶粒细化、膜基结合强度高的Cu/Ni 多层膜，该类多层膜具有良好的减摩润滑作用，因而改善了Ti811 钛合金常温下抗微动磨损和微动疲劳性能；在同一个调制周期内随着Ni 层比例的增加，多层膜的显微硬度增加，多层膜的摩擦力降低；Cu/Ni 多层膜对钛合金FF 抗力的改善程度随膜层调制比例增大呈现非单调变化趋势，调制比例为1:1 的Cu/Ni 多层膜对钛合金FF 抗力的提高程度最大，原因归于其良好的强韧和润滑综合性能。