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应用MEMS技术,可以缩小传感器与探测器的体积

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@@ 有一家传感器制造商,已经开始应用MEMS技术,在芯片上制造气体探测器样品了.这家公司的专有技术,有可能将体积庞大,价格昂贵的气体与化学品探测器和仪器制作在硅芯片上;这样的探测器,不论从体积大小方面考虑,还是从价格成本方面考虑,都能满足商业化的要求.

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来源
《今日电子》 |2001年第7期|1-1|共1页
作者
Gary Evan Jensen; 袁丁;
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作者单位

不详;

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正文语种 chi
中图分类微电子学、集成电路（IC）;
关键词
MEMS技术; 传感器; 探测器; 微电子;

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1. 应用MEMS技术,可以缩小传感器与探测器的体积——采用晶圆片大小的红外线气体探测器,可以制成体积小,精度高,可靠性也高,但是价格便宜的光学仪器。 [J] . 袁丁 . 今日电子 . 2001,第7期
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