硅微电子技术的演进,极限和发展趋势

摘要

自从贝尔实验室开发出锗晶体管和场效应管以来的数十年中,微电子科技对全人类生活方式作出了极大贡献.现在,我们主要讨论一下硅制作工艺方面的演进以及它未来发展的极限、挑战以及一些新的趋势.世界上第一部计算机是在1946年制造出来的,整个体积大概有一间房子这么大。