音圈电机伺服驱动器与运动机构设计

摘要

为满足一类音圈直流伺服电机的高速振动定位精度工作的精度需求，研发了一种高性能的音圈电机高精度位置定位设备。基于ARMCortex M3系列的STM32F103VCT6处理器设计了音圈直流伺服电机控制系统。分析了该伺服系统结构的组成，研究结果表明：设计的高精度位置伺服系统，能满足位置超调量小于10 counts，稳态调整误差为土1 count的系统参数指标。实现了音圈电机高速振动下控制器对光栅传感器实时采集并且高速处理，以及对音圈电机位置的快速调整，完成对音圈电机的高速振动定位精度的控制。