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SAW氢传感器敏感薄膜的研究进展

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氢敏薄膜的性质对SAW氢传感器的性能起着至关重要的作用.综述了SAW氢传感器敏感薄膜的国内外研究进展,比较了金属型和金属氧化物半导体(MOS)型薄膜材料的特点,着重阐述了金属氧化物半导体薄膜对SAW的作用机理和改性途径,以及纳米技术在SAW氢传感器敏感薄膜中的应用,展望了氢敏薄膜的发展方向.

著录项

来源
《电子元件与材料》 |2010年第1期|75-78|共4页
作者
周俊静; 周荣飞;
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作者单位

江西蓝天学院,机电研究所,江西,南昌,330098;

江西师范大学,化学化工学院,江西,南昌,330022;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
声表面波; 氢传感器; 综述; 敏感薄膜;

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