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陈兢; 刘理天;
清华大学微电子学研究所;
MEMS; 微麦克风; 纹膜结构; 微电子;
机译:“ MEMS技术改变了麦克风”关于硅(MEMS)麦克风-MEMS麦克风已在手机中得到广泛应用,并且市场份额正在迅速扩大。与传统电容式麦克风相比,其优势和技术趋势
机译:“MEMS技术改变了麦克风”硅(MEMS)麦克风--MEMS效益和相比,广泛采用的市场份额技术趋势手机迅速扩大常规电容式麦克风,麦克风
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机译:镜组,特别是对于微投影仪,包括使用MEMS技术制成的微镜
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