厚膜薄膜集成电路制造中的电阻测试技术

摘要

在厚膜和薄膜集成电路的生产中,需要对大量的电阻或电阻网络进行修正和测试,如何进行精密而又快速的测试是一个值得研究的重要问题。本文将对开尔芬联接方式和电阻隔离测试技术、隐藏电阻测试方法等联接方式予以论述。